1.规格:2.3.4.5.6.8.12寸。(直径变化符合半导体行业标准) 2.表面状况:无划痕和粘污物。 3.标准厚度:根据需求加工成客户要求厚度。(+/- 20um) 4.总厚度变化:厚度不符合标准厚度的wafer不超过总数量的3%。 5.表面处理方式:2.3,4,5,6,8寸单面抛光,12寸双面化学抛光。(无螺纹镜面) 6.notch口:2,3,4,5,6寸为平口。8,12寸为v型。7.边缘:无崩边,隐裂,微裂。 8.其他:ttv+tir+warp ≤40um。 9.包装:晶圆盒。(可真空包装)
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