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双门立式真空镀膜、、肇庆市真空镀膜

2018/8/16 17:30:13发布65次查看


肇庆市杰瑞设备有限公司专业制造
真空镀膜设备存在问题及解决方法:
如果没有问题,肇庆市真空镀膜,那就检查真空室与外界接口位置,如连接法兰、水冷电极、管道及真空管等,专利双腔真空镀膜机,有时可使用丙酮检漏法观察真空度变化,仔细查找漏点。实在找不到漏点的话,就要把所有怀疑可能漏气的地方全部拆检并重新安装,或者加工实心法兰堵住后进行试验。
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真空镀膜设备存在问题及解决方法:
当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸发源水路胶圈损环、高压电极密封处被击穿、工转动密封处胶圈损坏、烘烤引入线电极密封处被击穿、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)
2、坩埚被打穿(更换坩埚)
3、预阀、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)
4、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)
5、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃
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