适用于：2-6寸晶圆清洗 产品规格 控制模式：半自动控制（工件搬运为手动操作，工艺参数控制过程为自动）整机尺寸：约1400mm（l）×1200mm(w)×1800mm(h) 操作台面高度：850±20mm 工件：2-6英寸晶圆产能：25片/槽 可按客户产能需求设计 电源：380v 三相五线制，50hz,5kw 纯水：cl-pvc 进口dn25管径，0.2～0.3 mpa 压力，用量max:2m3/h 抽风口：φ200*1 抽风量max: 900m3/h,风量口装有蝶阀，可手动调节 cda: 0.4～0.6 mpa 压力，接管口径 ∮8mm,用量max:0.5m3/h n2:0.4～0.6 mpa 压力，接管口径 ∮8mm,用量max:2m3/h 设备特点： 1.led清洗设备骨架：国产优质sus304骨架外包； 2. led清洗设备外壳：2mm 厚sus304 镜面板折弯焊接而成； 3. led清洗设备台面：2mm 厚sus304镜面板 4. led清洗设备采用10.4英寸“proface”触摸屏人机界面操作和“三菱”plc控制； 5.led清洗设备槽体设置温度、液位监控装置； 6.led清洗设备 药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染；7.led清洗设备清洗区域配有高效过滤器，无二次污染机会； 8.用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点；9.led清洗设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全；
苏州晶洲装备科技有限公司
陈卿
18015660971
江苏省常熟市辛庄镇光伏产业园光华环路32号