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海德创业（北京）生物科技有限公司111
海德创业（北京）生物科技有限公司成立十余年来，经公司全体员工不懈努力、进取和广大用户的支持理解，在生命科学、材料科学领域都获得了长足的发展和进步，与众多的高校和研究所建立了良好的合作关系。展望未来，我们会继续本着“优质的服务是公司的根本”这一信条，不骄不躁，继续前行。您的成功，我们的期待！
ems550具有旋转样品台，可倾斜，适合各种样品。参数可预设，全自动控制保证获得精确的镀层厚度。低电压溅射、冷溅射、精细颗粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直径为165mm（6英寸），非常方便装载及移走样品。 仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用户使用要求。溅射参数可预设，包括气体放气针阀（此阀为电磁阀），一旦设置，就不需要再调节。溅射头互锁，系统可选配ems250镀碳附件。
ems550本仪器为全自动操作，可控制独立的真空泵。ems500是ems550的手动版本，其样品台不带自动旋转功能，其它参数与ems550完全相同。下图为ems550的外观图片：
性能特征：
旋转且可倾斜样品台
高质量镀层厚度（2nm 金膜）
精确的可重复性能
均匀沉积厚度
复合样本固定器
全自动控制
低耗冷却系统，无需冷却样本及样品台
低压溅射
20nm（或20埃）
微电子控制
聚碳酸酯安全壳体
仪器参数：
仪器尺寸
450mm(w) x 350mm(d) x 175mm(h)
工作腔室
硼硅酸盐玻璃: 165mm(dia.) x 125mm(h)
安全罩
聚碳酸酯
重量
18kg
靶材
60 mm 直径 x 0.1mm 厚(金靶为标准靶材)
样品台
60mm(dia.) ，靶面距在25mm－45mm之间可调
真空泵工作范围
atm-1x10-2 mbar
溅射电流
0-50ma
溅射镀膜时间
0-4 minutes
沉积速率
0-25nm/分
电源配置
230 volts 50hz (6 amp max incl pump)
产品信息：
货号 产品名称 规格
91000
ems 550 sputter coater complete with target
台
91000-ma
ems 500 manual sputter coater
台
91005
rotary vacuum pump targets 60mm (dia.) x 0.1mm(thick) fitted inclusive as standard
个

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张北
15910716037
北京市回龙观