zk-1200磁控溅射镀膜设备 主要技术参数: (一) 设备采用单真空室双端立式车架装夹镀件运行设计,车架装夹好镀件(玻璃、有机玻璃等)后,从一端进入,镀膜完毕(即车架整体走过镀膜区),从另一端退出。每一工作周期进行一次全抽真空过程,而非连续式设置。 (二)真空工作室内腔尺寸:长9.5米,高1.6米,宽0.5米,每次可镀工件最大宽度1.25米,长度4.2米约5㎡x2=10㎡.(所镀工件规格可由用户自定,真空室规格随之需改变。大于该规格,真空机组、靶及靶电源相应加大,价格另议) (三)采用四条平面靶设置,靶面规格1550*200mm,分别安装在真空室中央(镀膜区)两侧,每二条靶安装相同靶材,配两台50kw磁控电源,双靶可同时工作,也可选择任意一条靶单独工作。当需转换镀另一种靶材,通过转换电开关便可实现,出厂时,配不锈钢靶、铝靶材各二条。 (四) 配真空机组: a、k-1000t扩散泵一台； b、zj-1200罗茨泵一台； c、h-150滑阀泵二台；d、2x-30型旋片泵一台； 空载抽真空周期从大气常压至5x10-2帕,镀膜时间不大于7分钟；以镀全反镜为例(膜层不透光)约6分钟,镀膜厚度可调。 (五) 配三台工件车架,生产运作时,一台在真空室内运行,一台装夹镀件,一台拆卸成品件,在真空一侧设置一条道轨,供空车架回转进入端装夹镀件。 (六) 电控系统:具备 手动/自动双控程序,配美国品牌艾默生plc电脑式程序控制器,清华大学品牌压强控制仪,法国施耐德品牌交流接触器。 (七) 工件车架运行由变频器控制,运行速度(镀膜厚度)任意调节。 (八) 设置定时自动关机功能(主要是水泵、压缩机、维持泵),也可按用户要求设置。 (九) 根据用户要求,可配置镀膜厚度(膜层透过率)监控仪器。 (十) 交货期:收到订金之日计起80个工作日。 (十一) 三包一年期。

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陈小姐
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