产品简介：
alio是世界级的高端精密设备制造商，具备顶尖的产品研发实力，以及迅速将非标定制产品标准化生产的能力，其广泛的产品系列应用于精密光学、超高精度加工制造、半导体制造、高精度自动化设备等领域。其高超的设备终端制造及检测水平受到美国阿贡国家实验室、intel、nasa的一致好评。
alio lm系列直线电机精密一维平台采用高性能的airex直线电机进行驱动，配备纳米级别分辨率的光栅反馈系统及先进的运动控制系统，兼顾了性能和可靠性双重设计之间的平衡。alio采用机械轴承的平台能够媲美采用气浮轴承的平台所能达到的精度水平。
ai-lm-5000规格参数
行程1
50mm
最小步长
10nm
双向重复定位精度
±20nm
绝对定位精度2
±250nm
最大速度
500mm/s
最大推力
84n
直线度及平面度3
±500nm
pitch
±5arcsec4
yaw
±5arcsec
roll
±5arcsec
mtbf
40,000小时
重量
2.2kg
滑块质量
1.4kg
1、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm行程为标准行程，更多不同行程请直接咨询厂商
2、在遵循指导的使用环境才能达到标称的绝对定位精度
3、此精度根据客户要求及定制给出
4、1 ° = 1/3600arcsec
使用环境：
实验室、无尘室、真空环境使用（具体细节请咨询厂商）
环境温度: 0–50°c
保存温度: -40°c-+70°c
湿度: 0– 80%无结露

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南京海格威自动化设备有限公司
姚孝生
15251823092
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