- 加工定制：
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- 类型：
- 提供加工定制：是
- 型号：
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- 适用范围：
- 炉膛最高温度：
- 工作温度：
- 装载量：
- 工作室尺寸：
- 外形尺寸：
- 规格：
设备规格：hgpcvd－280离子蚀刻机 整机规格： 500×500×600（长×宽×高）mm
反应室尺寸：280×60（直径×高）mm 316(不锈钢)
射频功率：0～1000ｗ（连续可调） ae pe-1000型号
流量计：进口质量流量控制器，50sccm，20sccm各两件
真空计：mks 10torr
工作模式：蚀刻+pecvd
整机输入功率： 2kw（含真空泵） 整机重量：100 kg
深圳市昊光机电科技应用有限公司
王明
13631617125
：深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋