美国lighthouse 微粒监测器
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lighthouse 微粒监测器
微粒监测器
表面微粒计数器是可以在不干扰监测面操作的情况下直接测试和计量微粒数。要求没有真空或液体的流动情况下，通过平行光波移动提供可靠，可重复和准确的测量值。实时监测表面动态，图像处理软件将自动计量微粒的数量和大小。该数据将立即完整的显示在15寸大小的tft显示屏上，同时进行打印，存储以备将来参考和比较。微粒监测器能被设置在诸如不锈钢或玻璃等不同材料表面进行微粒监测。它独特的技术和便携设计理念使得其成为各大关注表面微粒污染的公司理想的监测工具。
特征 优点 应用
表面直接测量可反复测量非破坏性测量表面成像记录测量微粒大小和计量数量表面微粒区域定位数据和图像储存各类界面设置保存每一界面设置表面大颗粒微粒计量设计可靠 应用支持和培训区域服务较高的可靠性全球技术服务支持用户低成本 smif 和 foup 产品的洁净测试高效率的室内清洁晶圆和磁盘的替换操作系统的测试洁净度洁净流程的评估表面沉积率的评估洁净室表面测试测量0.5～4000微米的微粒设备洁净程度评估
测量原理图像掠影描述粗略表面淡化微粒光学成像采用摄像机记录图像数字成像进程分析 图像掠影技术技术层面微粒污染的高质量对比记录直接测量技术在线连接全面自动化的控制重复测量结果
微粒监测显示和分析设备15寸tft显示屏分散光测量头供应和控制模块图像编辑模块带有windows 2000 操作系统的分析器windows 2000 办公软件微粒监测图像处理软件微粒监测分析软件5.1 微粒尺寸：宽×长×高 410×240×350毫米操作指南
技术资料
测量范围 0.5 - 4000 微米
侦测范围 0.5 微米 (50% 计数率)
测量范围 4 x 6 毫米
分析周期 30毫秒以上
测量头大小 65 x 65 x 80 毫米 (宽x长x高)
测量头电线长度 1.3 米
显示器 tft
分析功能 －最大.微粒长度 －每一类微粒数量
输入电源 115vac, 7a, 50-60hz or 230vac, 8a, 50-60hz
图像格式 jpeg, bmp
操作系统 ms windows
数据格式 csv
data analysis数据分析 particleguard tscreenshot微粒监测t显示截图
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