概述:
热解氮化硼(pbn)是种特种陶瓷材料,在特殊设备上用化学气相沉积的工艺制得,热解氮化硼的沉积过程宛如“落雪”,氮化硼的六角形小雪片,一片一片的平行的落在石墨基体材料上,达到一定厚度后最终冷却脱模而成。
主要特点是:
产品颜色在牙白至橙棕、无毒、无孔隙、已加工。纯度高达99.99%,表面致密,气密性好。耐高温,强度随温度升高,2200℃时达到最大值。耐酸碱盐及有机试剂,高温与绝大多数熔融金属、半导体材料不湿润不反应。抗热震性好,热导性好,热膨胀系数低。电阻高,节电强度高,介电常数小,磁损耗角正切低,并有良好的透微波和红外线性能。在力学、热学、电学等等性能上有着明显的各种异性。
pbn的产品应用:
半导体单晶及ⅲ-ⅰ族化合物合成用的干锅、基座:原位合成gaas、inp、gap单晶 的lec系列干锅。分子束外延用的mbe系列干锅。vgf、vb法系列干锅。电子束源用的系列干锅。石英干锅以及舟皿等石墨器具上的涂层。mocvd绝缘板。金属熔炼蒸发干锅等。
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王殿春
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