- 含量≥:99.999
- 产品等级:化学纯
- 执行质量标准:SEMIC3.35-1101HCL
- CAS:7647-01-0
化学级氯化氢气体
氯化氢气体为强刺激性,不燃气体,溶水后有强烈腐蚀性。产品包装于高压专用钢瓶中,处于液态。专用钢瓶为钢质无缝气瓶,瓶内抛光处理。瓶阀为抗腐蚀不锈钢隔膜阀。钢瓶设计压力为12.5mpa,工作压力约5-6mpa。
氯化氢产品参照semic3.35-1101hcl标准,并执行国家标准gb/t24469-2009(电子级)和企业标准q/zwdl001-2006(化学级)。氯化氢产品采用hcl专用钢瓶包装,钢瓶符合国标gb5099-1994或dot3aa标准,瓶阀为316l不锈钢隔膜式阀,接口为cga330。
电子级氯化氢:产品分别经国家标准物质研究中心和信息专业部专用材料质量监督检验中心抽样检验,纯度大于99.999%,总杂质含量小于5ppm,并经国内外多家半导体重点企业连续大量在单晶硅片气相抛光和外延基座腐蚀工艺中广泛使用,产品效果十分明显,与国际知名品牌相当;主要用于大规模集成电路生产中,单晶硅片气相抛光,外延基座腐蚀;还用于金属表面处理,硬质合金生产。
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