加工定制否	品牌SC
型号EZ4	产品适用范围1cm-150mm
测量范围100-9999rpm	电源220
工作电压220V	外形尺寸250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)
重量10kg

在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
ez4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。
　　ez4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。ez4采用全阳极氧化铝面板外壳，pp材料内腔，经久耐用。
性能参数：
l  支持wafer尺寸：25px-100mm（4"圆晶）
l  速度可调范围：200-8000rpm
l  加速度可调范围：100-10000rpm/s
l  转速分辨率：1rpm
l  转速精度：＜±5rpm
l  可编程5组5步程序
l  宽电压输入：ac100-230v
产品特点：
l  75w 直流无刷电机，单片机控制
l  高清晰文本显示器
l  可单步和多步匀胶操作
l  pp耐腐蚀内腔，可更换
l  铝合金阳极氧化外壳，美观大方
l  耐溶剂pc透明盖
l  多角度定位铰链设计
l  hdpe真空吸盘
产品外型尺寸：
　　　　250mm(d)*210mm(w)*200mm(h)

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