- 加工定制:
- 品牌:
- 类型:
- 提供加工定制:否
- 型号:
- 别名:
- 适用范围:
- 炉膛最高温度:
- 工作温度:
- 装载量:
- 工作室尺寸:
- 外形尺寸:
- 规格:
1、设备名称:高真空蒸发镀膜机
2、设备品牌:昊光机电
3、配置:
3.1、真空抽气部分
莱宝粗抽泵+cti 10 on board 冷凝泵
3.2、真空检测
inficon:bpg400真空规
3.3、蒸发系统控制及膜厚检测
1、蒸发控制器:运行+设定
2、触摸屏和电位器分别控制
3、电压、电流显示
4、晶控仪:控制蒸发电流大小,控制蒸发速率,显示厚度;mdc360或syscon 2000
3.4气体控制:2路质量流量控制器mks1179a
4、使用领域
1、半导体:金属化
2、tft:金属导线
3、微结构:金属化
5、设备特点
1、高配置
2、高精度
3、高品质
深圳市昊光机电科技应用有限公司
王明
13631617125
:深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋