离子切片仪em-09100is用于tem 、stem、 sem 、 epma 和 auger样品制备的创新方法
离子切片仪制备薄膜样品除了需要将样品切成矩形薄片外，不需要溶剂或化学试剂及前处理（打磨或凹坑研磨）。利用离子切片仪除了需要将样品切成矩形薄片外不需要常规的透射电镜制样过程(电解液或前期处理的手工研磨,凹坑机研磨)可直接制备薄膜样品.用於tem/ stem / sem / epma / auger的创新的样品制备方法。
★高质量的透射电镜样品的前处理。离子切片仪制备薄膜样品比传统制备工具快速、简单。低能量、低角度（0°到6°）的氩离子束通过遮光带照射样品，大大降低了离子束对样品的辐照损坏。
★采用新开发的快速离子源即使是柔软的材料,制备的薄膜质量也极好，对不同成份的样品甚至含有多孔合成物也都能够有效制备。
★快速制备。快速制备无需复杂的前处理最小限度的表面损伤
产品规格离子加速电压 1 ～ 8kv
倾斜角 up to6°(0.1°/步)
离子束直径 500μm(fwhm)
研磨速率 5m/min (加速电压:8 kv,si换算)
使用气体 氩气
最大样品尺寸 2.8mm(长度)×0.5mm(宽度)×0.1mm(厚度)
压力测试 潘宁规
主抽真空系统 涡轮分子泵
ccd相机 内置
尺寸 重量 主机 500mm(w)×600mm(d)×542mm(h)、63kg
机械泵 150mm(w)×427mm(d)×230.5mm(h)、16kg
液晶显示器 326mm(w)×173mm(d)×380mm(h)、3.7kg
离子切片仪em-09100is

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