半导体单晶硅片领域
【产品规格】
产品型号 code
中值粒径d50（μm）
jis标准
wta20
14.5±1.0
#800
wta 15
10.2±0.8
#1000
wta 12
9.20±0.6
#1200
wta 9
6.40±0.5
#2000
【产品性能】
      wta专用半导体研磨粉，韧性高，耐磨，不易造成划伤、生产时未添加化学助剂。同期和日本fujimi fo产品进行对比，研磨效率同期提高1.5倍，表面平坦度ttv有所提高，易于清洗。
【适用范围及建议】
       精密研磨半导体单晶硅片、化合物半导体（砷化镓晶体，铌酸锂晶体等）。

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郑州晶元电子科技有限公司

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