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高温卧式PVD连续真空镀膜生产线

2018/6/21 9:42:52发布214次查看
  • 加工定制:
  • 品牌:纳峰
  • 电镀位置:真空镀膜
  • 镀种:真空镀膜
  • 提供加工定制:是
  • 型号:高温卧式PVD连续真空镀膜生产线
  • 适用范围:
  • 产品别名:高温卧式PVD连续真空镀膜生产线
  • 电镀电源:
  • 镀膜材质:
  • 镀膜原理:
  • 规格:

¸ 加热温度:
         工作温度: 高达600°c
¸ 基体最大尺寸
         <3m (l) x 1.5m (h) 平板状基材
¸ 均匀性范围内有效镀膜宽度
         <1.5m (均匀性为±5%)
¸ 高生产效率
        效率高达1分钟/片 (<1.2mx 1.5m)
¸ 独特的真空传输装置
        陶瓷滚筒链轮驱动传动系统,采用独特的无缝连接不间断连续镀膜技术
¸ 先进的磁控溅射源设计
        在确保大面积镀膜均匀性的条件下,材料使用率提高
¸ 工艺真空室设计
     所有真空室为模块化设计,数目可根据具体应用增减
     每个工艺室装备多对平面溅射靶或圆柱靶
     溅射靶由直流、中频或射频电源驱动
     矩阵式多点可控大面积均匀高温基体加热技术
     数字闭环pid真空控制系统,配合精密阀门,准确稳定工艺真空到设定值

纳峰真空镀膜(上海)有限公司
沈蓉
18017150832
青浦区华纺路99弄99号
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