- 加工定制:
- 品牌:纳峰
- 电镀位置:真空镀膜
- 镀种:真空镀膜
- 提供加工定制:是
- 型号:高温卧式PVD连续真空镀膜生产线
- 适用范围:
- 产品别名:高温卧式PVD连续真空镀膜生产线
- 电镀电源:
- 镀膜材质:
- 镀膜原理:
- 规格:
¸ 加热温度:
工作温度: 高达600°c
¸ 基体最大尺寸
<3m (l) x 1.5m (h) 平板状基材
¸ 均匀性范围内有效镀膜宽度
<1.5m (均匀性为±5%)
¸ 高生产效率
效率高达1分钟/片 (<1.2mx 1.5m)
¸ 独特的真空传输装置
陶瓷滚筒链轮驱动传动系统,采用独特的无缝连接不间断连续镀膜技术
¸ 先进的磁控溅射源设计
在确保大面积镀膜均匀性的条件下,材料使用率提高
¸ 工艺真空室设计
所有真空室为模块化设计,数目可根据具体应用增减
每个工艺室装备多对平面溅射靶或圆柱靶
溅射靶由直流、中频或射频电源驱动
矩阵式多点可控大面积均匀高温基体加热技术
数字闭环pid真空控制系统,配合精密阀门,准确稳定工艺真空到设定值
纳峰真空镀膜(上海)有限公司
沈蓉
18017150832
青浦区华纺路99弄99号