（一） 设备用途
ztd-950型单晶炉，是软轴提拉型单晶炉，在惰性气体环境中，以石墨电阻加热方式，将太阳能级多晶硅料熔化，采用直拉法生长太阳能电池级单晶硅的设备。
（二） 设备特征
1、 本设备采用软籽晶轴、实现籽晶轴转速稳定效果；
2、 本设备采用先进的磁流体密封技术、新型翻板阀结构，可维持工艺温度下取出晶体，更换籽晶和补充加料连续拉晶；
3、 本设备采用电动升降主炉室、副炉室机构；
4、 本设备电控系统采用触摸屏和红外测温控径仪，功能全，精度高，稳定性好；
5、 温度自动控制系统、单晶直径自动控制系统、单晶重量及生长长度显示功能、采用可编程控制器操作；
（三） 附件内容
1、 设备整机配套包括：主机、电控柜、变压器、电动机、除尘筒、滑阀泵、副真空泵；
2、 石英坩埚、热场、毯毡、籽晶、硅料、谐波柜等客户需自行购买，水冷、氩气、抽气管道等需客户自行准备；
（四） 主要技术参数
序号
名称
参数
1
 型号
ztd-950
2
 名称
单晶硅炉
3
 电源
三相 ac380v  50/60hz
4
 加热方式
石墨电阻加热
5
最大装料量
120kg
6
晶体直径
6-8
7
热场规格
20-22
8
晶体行程
3400mm
9
晶体拉速（慢）
0.1-10mm/min
10
晶体拉速（快）
≥500mm/min
11
晶体旋转速度
2-40rmp
12
坩埚行程
400mm
13
坩埚转速范围
0-20rmp
14
坩埚升速（慢）
0.02-1mm/min
15
坩埚升速（快）
＞100mm/min
16
冷态极限真空度
＜3pa
17
最大泄漏率
＜9.5pa/min
18
冷却水流量
＞280l/min
19
氩气流量
160l/min
20
主炉室直径
950mm
21
副室高度
2300mm
22
翻板阀通径
300mm
23
电极间距
500mm
24
主机静止高度
7055mm
25
主机重量
＞5吨

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赵叶
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