该cvd管式炉系统由: 真空管式炉、质量流量计、真空泵、真空测试仪四部分构成。广泛用于: 真空烧结、基片镀膜、干燥烧结等热处理温度较高的场所。该系统技术成熟、质量可靠；设备操作采用全数控触摸界面，丰富的图形界面提示，使得设备的操作非常简单、方便；设备的各项技术参数更是一目了然，设备的运行状态尽在您的掌控之中。该系统是材料实验室必备的理想设备。
1200型三路气体配比器cvd管式炉系统
1
产品名称
1200型三路气体配比器cvd管式炉系统
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常规型号
nbd-o1200-o1200-60it150-d3zhz
3
nbd-o1200-o1200-80it150-d3zhz
4
炉膛模式
开启式
5
显示模式
7英寸触摸屏(lcd)
6
炉膛材料
进口纤维
7
加热元件
进口合金加热丝
8
极限温度
1200℃
9
工作温度
≤1150℃
10
升温速率
≤20℃(建议:10℃/min)
11
加热温区
单温区
12
温区长度
440mm
13
恒温区长
200mm
14
炉管材质
高纯石英
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炉管常规直径
50mm
16
60mm
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炉管长度
800mm
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密封方式
不锈钢真空法兰
19
气 密 性
真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3pa
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控制模式
智能pid多段程序控温
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控温精度
±1℃
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温度曲线
30段时间—温度曲线任意可设
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预存曲线
可预存10条温度曲线
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超温报警
有
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过流保护
有
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断偶提示
有
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测温元件
k型热电偶
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电气认证
ce认证
29
供电电源
220v 50hz～60hz
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整机功率
3kw
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气体通道
可连接3种气源
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流 量 计
质子流量计
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a路量程
100sccm
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b路量程
200sccm
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c路量程
500sccm
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气路压力
-0.1～0.15 mpa
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系统真空 
5～10pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）
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售后服务
12个月质保，终身保修
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包装形式
多层胶合板包装箱
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随机配件
石英炉管、炉管堵塞、o型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、厚壁硅胶管、5mm内六角扳手。
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整套尺寸
左右：860mm；前后：480mm；高度：1360mm

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