应用原理:
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8torr、10-5pa)。
在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、低温冷阱
放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.
本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于领先地位，达到甚至超过国际先进水平。
技术参考表
型号
135-20a
135-32a
135-32ax
135-50a
135-50ax
135-80a
压缩机功率(hp)
9
14
14
18
18
28
工作电流（a）
21
26.6
26.6
36.7
36.7
53
电源
380v,50hz,
工作温度（℃）
-100~-150
抽气速度（l/s）
149000
238400
238400
372500
280000
596000
最大制冷量（w）
（-100℃）
2100
2800
2800
3800
3800
6000
冷凝管长度
20m,φ16mm
32m,φ16mm
双路16mφ10mm
50m,φ16mm
双路14m,φ16mm
60m,φ22mm
冷凝管表面积（㎡）
1
1.6
1
2.5
1.5
4
冷却方式
水冷，水温18℃~30℃，水压2bar~4bar
冷水流量（t/h）
1.8
2.5
2.5
3.2
3.2
6
冷水接口尺寸（mm）
16
16
16
19
19
25
预冷时间（min）
30
40
降温时间(min)
≤3
≤4
≤4
≤5
≤5
≤6
除霜时间(min)
≤3
≤3
≤3
≤4
≤4
≤5
再降温(min)
≤3
≤3
≤3
≤3
≤3
≤3
适用油扩散泵直径（mm）
≤800
≤900
≤600
≤1000或2x600
≤800
≤600
适用腔体直径（mm）
≤1300
≤1500
≤1000
≤1800
≤1500
≤1200
需要冷水机功率（hp）
7
8
8
10
10
15

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遵化市富森钛金设备有限公司
张先生
13323059928
中国 河北 遵化市 建设南路68号