- 加工定制:是
- 品牌:RAYTEK/雷泰
- 型号:SLA5850S
- 类型:质量流量计
- 测量范围:0-30SLPM
- 精度等级:1%
- 公称通径:6
- 适用介质:通用
- 工作压力:10
- 工作温度:20
- 规格:纸盒
流量范围
相当于0-3sccm到0-3000sccm氮气(n2)的范围
在semi(半导体设备和材料协会)标准压力和温度(0oc和101kpa)条件下测得
注:满程流量范围大于50sccm
性能:校准后为满量程±1%,大于20slpm时为满量程±1.5%。
可重复性:0.25%
控制范围:50:1
安装状态灵感度:复零后,比指定精确度误差不到±0.5%量程。
温度敏感度:零点:小于±0.075%量程每摄氏度
量程:比最初校准刻度小±1.0%量程(在10-50摄氏度)
压力敏感度:±0.03%每psi到200psig(n2)
输出电压:0-5伏直流(200k欧姆的输出电阻)
输出信号:输出0-5伏直流到2000欧姆或更高的负荷
输出5±0.1伏直流(参考),最大负荷2000欧姆
最大操作压力:1500psig;5-50psid压损(最小压损根据气体和周围环境具体而定)
温度、外界/气体:41-149of(5-65oc)
完全泄漏,外界:1×10-9cc/s
功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2.5slpm)
3.5瓦特,直流15伏◎35ma,-15伏@180ma
常开阀/流量>2.5slpm
10.5瓦特,直流15伏◎350ma,-15伏@350ma
构造材质:
标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;kalrez或buna-n
连接:
硬件连接:标准9/16-18unf不锈钢压力接头(swagelok),可选:vco或vcr
电气连接:卡连接器(镀金)或d型连接器(da-15p)
仁荷泰可(北京)科技有限公司
刘志新
15110281001
北京市朝阳区望京园602楼716室