其中高温等离子体的电离度接近1,各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态,它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态,各种粒子温度并不相同。其中电子温度( te)≥离子温度(ti),可达104k以上,而其离子和中性粒子的温度却可低到300~500k。一般气体放电子体属于低温等离子体。截至2013年,对低温等离子体的作用机理研究认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子,其中高能电子与气体分子(原子)发生撞,将能量转换成基态分子(原子)的内能,发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。一方面打开了气体分子键,生成一些单分子和固体微粒;另一力生.oh、h2o2.等自由基和氧化性极强的o3,在这一过程中高能电子起决定性作用,离子的热运动只有副作用。常压下,气体放电产生的高度非平衡等离子体中电子温层氏度)远高于气体温度(室温100℃左右)。
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