两工位腐蚀机
一、概述：
全新的两工位腐蚀机经过多次的试验与研发修改，采用美国进口设备的技术方案再进一步做了更人性化，更自动化的改进，使作业员在操作时更加方便，省时省力，驱动阀门及管路部分全部采用四氟耐酸材质，寿命长，故障率低，电箱及阀门箱也己设计气压注入方式，使箱体内产生正气压，酸气不易进入，保护电器元件寿命，动作部分采用电机直接驱动主轴，旋转稳定，出水快速，甩干时自动吹氮气，腐蚀出来的硅片均匀，稳定。整机操作简单方便，就算新人也可很快熟悉操作机器，而且速度快质量好。
二、腐蚀机的特点
1、 设备用途：硅片腐蚀
2、  设备特点：手动自动自由切换，腐蚀时间可方便查看及设定，设备安全稳定，寿命长
3、主要技术指标：
1、整机尺寸：1000x760x1365
1、总功率：500w
2、两工位腐蚀，并且可腐蚀不同硅片，适合产品批量生产。
3、可适用于φ30—φ76.2及更大的硅片。
4、腐蚀头及阀门，管路部分全部采用四氟耐酸材料，寿命长，故障率低。
三、使用说明 
1、设备使用前，先检查电源是否接好(220vac)二相三线制，接地线是否正常，设备上是否有杂物。
2、检查气路及水路部分是否正常，电箱内压力表是否有气压，并伴有漏气声音，以保证电箱及阀门箱内有正气压。
3、根据腐蚀硅片的大小选择相应的卡盘并组装到位不偏摆。
4、调节腐蚀头及喷水头的位置及角度，正常为酸及水喷在硅片外圆切线处。
5、调节好腐蚀时间和旋转速度即可正常工作。

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襄阳仪波达微电子设备有限公司
张林芳
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