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Nidek晶片平坦/翘曲度测量仪 FT-17

2018/6/9 7:28:46发布113次查看
  • 加工定制:否
  • 品牌:其他
  • 型号:FT-17
  • 测量范围:
  • 测量精度:
  • 外形尺寸:
  • 用途:
  • 标准装箱数:
  • 长度:
  • 放大率:
  • 工作温度:
  • 十字线:
  • 视野:
  • 物镜直径:
  • 序列号:
  • 重量:
  • 规格:

nidek晶片平坦/翘曲度测量仪si/ge/gaas/inp/sic/lt/ln)ft-17 一,ft-17是∮130mm以下各类晶片平坦度测试装置,该装置采用激光斜射干涉技术
二,可设定1,2,3,4,5μm/fringe的干涉条纹。
三,接入标准的解析装置,以表示各类晶片的平面度。测定结果,可用各种测定值,等高线图,俯视图,断面图等图表示。
四,无须校准
五,以专用解析装置控制程序使操作变得容易
 
 技术参数:
1,测定方法:光波干涉方法(倾斜入射)
2,光源:半导体激光(655nm,3mw)
3,样片尺寸:∮130mm以下,但是平坦度在∮100mm以下
4,样片厚度:2000um以下(平坦度测定250um-1000um以下)但是承受台*10mm、其他厚度请以其他方式商谈
5,样片的种类:晶片(硅、化合物、酸化物、玻璃)金属片、磁碟(铝、玻璃)模具等 镜面及非镜面(除反射率低的非镜面)
6,样片的倾斜角度:比垂直向前倾斜8度
7,干涉计设定感度:1,2,3,4,5μm/线距
8,测定范围:线距感光的30倍(线距状况、有比镜片尺寸等30倍以下的场合)
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深圳市宝安区沙井大通仪器设备经营部
文晓
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