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透明导电膜(tco)目前最主要的应用是ito膜,还有其他azo,等,
ito 薄膜是一种半导体透明薄膜, 它是氧化铟锡( indium t in ox ide) 英文名称的缩写。有学者将氧化铟系列( in2o 22sno 2) 也称之为ito 薄膜。作为透明导电电极, 要求ito 薄膜有良好的透明性和导电性。所以, 此类材料的禁带宽度e g 一般都大于3 ev , 其掺杂组分要偏离化学计量比。ito 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等, 但使用最多的是反应磁控溅射法[ 1, 2 ]。与其它透明导电薄膜相比, ito 薄膜具有良好的化学稳定性、热稳定性以及良好的图形加工特性。
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潘峰
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西丽镇