手动晶圆减薄贴膜机
(型号:mtm-10)
主要规格 
1.1晶圆尺寸:     直径:4”,5”,6”&8”（根据客户要求确定）
                 厚度:300~750微米
1.2晶圆种类:     硅,砷化镓或其他
                 单边,双边,v型缺口
1.3膜种类:       蓝膜或者uv膜
                 宽度:    100~250毫米
                 长度:    100~200米
                  厚度:    0.05~0.15毫米
1.4贴膜原理:     防静电滚轮贴膜
1.5贴膜动作:     膜手动拉出
1.6贴膜温度:     可控温度在室温~100°c
1.7晶圆台盘:     通用特氟隆涂层接触式台盘
1.8装卸方式:     晶圆手动放置与取出
1.9防静电控制:   防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电膜传送滚轮和防静电贴膜滚轮
                 贴膜部位配防静电离子风机装置
1.10切割系统:     独特的可调整的环切刀技术,一圈即可适应各种晶圆外形,业界首创,
                 无任何飞边,无需二次修剪,
                 独特的直切刀技术保证世界同类机台胶膜应用最节省
1.11晶圆定位:     浮动销钉接触晶圆的边缘
1.12控制单元:     基于plc控制带3”触摸频
1.13电力供应:      单相交流电220v,10a
1.14压缩空气:      5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺
1.15体积:          500毫米(宽)*800毫米(深)*350毫米(高)
1.16净重:          60公斤
2.机器性能:
2.1晶圆收益:      >=99.9%
2.2贴膜质量:     没有气泡(不包括碎粒气泡)
2.3  每小时产能:    >=80片晶圆
3.文件及手册:
3.1操作及维修手册                                                                 1 套
4.安装,培训及验收:
4.1卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试
4.2卖方给于买方内部操作员工,工程师,维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定独立地操  
  作机器
4.3机器的验收包括预验收与最终验收.预验收应该在卖方工厂完成,最终验收在买方指定 
   的地点完成.所有的验收项目包括确认产品说明,产品运行,模拟测试与产品生产等.
5.保修条款:
5.1卖方保证设备完全满足买方正常生产要求及购买规格
5.2保修期为买方正式验收起12个月内

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上海海展自动化设备有限公司
李海飞
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