直流磁控溅射用于镀制金属膜及化合物膜，例如金、银、铝、钛、铬等，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度高（达1%）。
品名
直流磁控溅射电源
型号
msd系列
输入
相数
三相+n
电压
380v
频率
50hz
输入方式
4线（含零线）
输出
波形
直流
功率
20kw~200kw（可定制）
电压
0—1200v（可定制）
稳定度
≤1%
电流
0—200a（可定制）
稳定度
≤1%
纹波及杂讯
≤5%或≤3%
效率
≥90%
控制
控制方式
标准方式：恒流
可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换
控制接口
标准方式：面板手动
可选方式：面板手动、plc模拟接口、rs485(modbus)
保护
具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能
冷却
风冷或水冷
外型
防护等级
ip21
单元尺寸(w*d*h)
箱体：440(w)x220(h)x560(d) （20kw风冷）
面板：482(w)x248(h)
重量
约30kg（30kw）
备注

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中山市昊源电器设备有限公司
刘立胜
13680291588
广东省中山市港口镇沙港中路72号3楼