cw2010—z轴测量显微系统 一、测量显微镜特点: 以影像法为测量原理, 采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场,微分干涉,偏光的观察功能。所以对极细微的间隙高低差,夹杂物、微米以下的突起、细微划痕进行观察。二、测量显微镜用途:适用于硅片、ic、lcd、tft、pcb、mems激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察.也适用于经过磨抛、化学处理的工件表面的金相组织结构,几何形状进行显微观测。并且有三维的计量功能,其解析率达0.0005mm。因此是精密零件,集成电路,半导体芯片,光伏电池,光学材料等行业的必用仪器。三、测量显微镜主要规格 2.1 镜筒:铰链式三目头部 30°倾斜 270°旋转 2.2 高眼点平场目镜: wf10x/22 2.3 超长物距平场物镜:pll5x/0.12 wd 26.1, pll10x/0.25 wd20.2, pll20x/0.40 wd 8.80, pll50x/0.7 wd 3.68。 2.4 右倾式内定位5孔转换器 2.5 落射式照明系统: 卤素灯12v30w, 内置孔径光阑,五孔转盘滤色装置(黄、绿、蓝、磨砂)推拉式检偏器和起偏器。 2.6 调焦结构:粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置 粗动升降范围30mm 微动格值 0.001mm*100格 数显解析值 0.0005mm。 2.7 光源:卤素灯 亮度可调 6v30w(bd:12v50w) 2.8 普通透射照明:可选 2.9 z轴升降范围:手轮转动130mm 允许最高工件 130mm x轴移动范围 200mm解析率:0.001mm 可解锁手动快进 y 轴移动范围 100mm 解析率:0.001mm 可解锁手动快进 测量精度(3+l/100)mm (l: 被测长度) 落射光测量误差≤0.08% 3.0工作台尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作台承重: 30kg 3.1仪器外型尺寸:380mm*550mm*830mm 3.2 净重:100kg 毛重:120kg

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