耦合多电极矩阵传感器（CMAS）的原理：当金属受腐蚀程度不均匀时，如点状腐蚀或隙间腐蚀等比较典型的局部腐蚀，电子从金属腐蚀相对严重的地方（阳极）流向腐蚀较轻或没有被腐蚀的地方（阴极）。在耦合多电极矩阵传感器中，装有多个与被测设备相同材质的微型电极。其中一些电极具有与腐蚀金属的阳极接近的性质，而另外一些电极性质与阴极接近。当微型电极相互间电绝缘，却通过外电路连接到一个共同的节点上被耦合在一起时，与阳极性质接近的电极模拟腐蚀金属的阳极，与阴极性质接近的电极模拟腐蚀金属的阴极。阳极释放出的电子被迫通过外电路流向阴极。因此，有正电流从腐蚀较轻或没被腐蚀的电极通过外电路 流入腐蚀严重的电极。这种电流正是局部腐蚀所导致的电流。因此 通过测量产生的电流，CMAS分析仪可定量地确定局部或不均匀腐蚀的速度。
耦合多电极矩阵传感器（CMAS）的优势
1) 可以测量局部腐蚀速度 （唯一的局部腐蚀定量测量仪器）
2) 速度更快: ≤ 15秒 （可用于过程自动控制）
3) 灵敏度更高 (现场中可以达到0.004 mil/yr)
4) 测量可靠， 重现性好
5) 探针寿命更长
6) 实验和现场中都可以应用
7) 测量领域及范围更广（气相, 水溶液, 油水混合物, 凝土, 土壤和堆积物, 硫化氢, 细菌）
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